抗氟腐蚀能力强。
放出气体少。
重金属污染少。
快换接头装拆 (无需工具)
采用精密铸造一体化结构,无气体滞留。
与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性 (XM系列)
阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
(阀芯)座部分采用间隙隔膜,微粒子数量大幅降低。
伴随主供气初期供气可进行流量调整。
对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。
真空环境内 (1.3×10-4Pa) 在搬运场合可以使用的气缸。